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韋森特（東莞）科技技術(shù)有限公司?
WEI SEN TE (DONGGUAN)SCIECE AND TECHNOLOGY CO.,LTD

打造機械設(shè)備行業(yè)探索者?


公司堅持“誠信經(jīng)營，顧客至上”為滿足顧客需求不斷創(chuàng)新發(fā)展，使產(chǎn)品成為高性價比，高效率，高精度。攜手公司內(nèi)部及國外技術(shù)專家和技術(shù)骨干的集體智慧，研發(fā)更為完善的產(chǎn)品。?

產(chǎn)品展示

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SMIF

SMIF

設(shè)備特點：
WST200 SMIF可以在90秒或更短的時間內(nèi)將200mm晶圓從SMIFpod轉(zhuǎn)移載到加工工位。該系統(tǒng)還可用于將晶圓裝載到無SMIF環(huán)境中的加工工具中。

占地面積并??；并且獨立運行。

帶有末端執(zhí)行器的可編程機械臂可以將晶圓傾斜到垂直位置，可容納多種加工工具。 

WST200 SMIF都有多種工具接口選擇:帶有快速釋放鎖扣的接口板和獨立的地板支架，可以在12分鐘或更短時間內(nèi)與任何加工工具重新連接。

專內(nèi)置微型環(huán)境和氣流控制系統(tǒng)有助于保護晶圓不受污染，同時機器人在SMIF和工具之間轉(zhuǎn)移晶圓。

具有自動防故障裝置的特性，包括Pod現(xiàn)有傳感器，晶圓突出傳感器，過載傳感器，恒定力矩直流步進電機(帶有編碼器反饋)精確和可靠的運動控制 


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設(shè)備特點：
WST200 SMIF可以在90秒或更短的時間內(nèi)將200mm晶圓從SMIFpod轉(zhuǎn)移載到加工工位。該系統(tǒng)還可用于將晶圓裝載到無SMIF環(huán)境中的加工工具中。

占地面積并??；并且獨立運行。

帶有末端執(zhí)行器的可編程機械臂可以將晶圓傾斜到垂直位置，可容納多種加工工具。 

WST200 SMIF都有多種工具接口選擇:帶有快速釋放鎖扣的接口板和獨立的地板支架，可以在12分鐘或更短時間內(nèi)與任何加工工具重新連接。

專內(nèi)置微型環(huán)境和氣流控制系統(tǒng)有助于保護晶圓不受污染，同時機器人在SMIF和工具之間轉(zhuǎn)移晶圓。

具有自動防故障裝置的特性，包括Pod現(xiàn)有傳感器，晶圓突出傳感器，過載傳感器，恒定力矩直流步進電機(帶有編碼器反饋)精確和可靠的運動控制