打造機械設備行業探索者?
產品展示
products
設備特點:
WST200 SMIF可以在90秒或更短的時間內將200mm晶圓從SMIFpod轉移載到加工工位。該系統還可用于將晶圓裝載到無SMIF環境中的加工工具中。
占地面積并小;并且獨立運行。
帶有末端執行器的可編程機械臂可以將晶圓傾斜到垂直位置,可容納多種加工工具。
WST200 SMIF都有多種工具接口選擇:帶有快速釋放鎖扣的接口板和獨立的地板支架,可以在12分鐘或更短時間內與任何加工工具重新連接。
專內置微型環境和氣流控制系統有助于保護晶圓不受污染,同時機器人在SMIF和工具之間轉移晶圓。
具有自動防故障裝置的特性,包括Pod現有傳感器,晶圓突出傳感器,過載傳感器,恒定力矩直流步進電機(帶有編碼器反饋)精確和可靠的運動控制
設備特點:
WST200 SMIF可以在90秒或更短的時間內將200mm晶圓從SMIFpod轉移載到加工工位。該系統還可用于將晶圓裝載到無SMIF環境中的加工工具中。
占地面積并??;并且獨立運行。
帶有末端執行器的可編程機械臂可以將晶圓傾斜到垂直位置,可容納多種加工工具。
WST200 SMIF都有多種工具接口選擇:帶有快速釋放鎖扣的接口板和獨立的地板支架,可以在12分鐘或更短時間內與任何加工工具重新連接。
專內置微型環境和氣流控制系統有助于保護晶圓不受污染,同時機器人在SMIF和工具之間轉移晶圓。
具有自動防故障裝置的特性,包括Pod現有傳感器,晶圓突出傳感器,過載傳感器,恒定力矩直流步進電機(帶有編碼器反饋)精確和可靠的運動控制