設備特點：
用于FOUP自動化搬送、存儲，實現晶圓在曝光、刻蝕等核心工藝之間流轉。

優化結構及氣流流場設計，可使潔凈度達到ISO Class4等級要求；帶有豐富的安全設計和靈敏的碰撞保護功能，

有效保護FOUP、晶圓安全, 提高了產品的安全等級,減少不必要的損失；

全新的系統運動邏輯規劃，提高產品搬送效率；

?  高速載入載出及安全防護裝置

?  專用維修門和維修梯安全設計

標準的SEMI軟件接口，可以方便對接MCS系統，可實時上報系統各種狀態數據，實現工廠智能管理；

可以根據客戶應用的特殊要求，定制設備功能及尺寸。