打造機械設備行業(yè)探索者?
產(chǎn)品展示
products
設備特點:
用于FOUP自動化搬送、存儲,實現(xiàn)晶圓在曝光、刻蝕等核心工藝之間流轉。
優(yōu)化結構及氣流流場設計,可使?jié)崈舳冗_到ISO Class4等級要求;帶有豐富的安全設計和靈敏的碰撞保護功能,
有效保護FOUP、晶圓安全, 提高了產(chǎn)品的安全等級,減少不必要的損失;
全新的系統(tǒng)運動邏輯規(guī)劃,提高產(chǎn)品搬送效率;
? 高速載入載出及安全防護裝置
? 專用維修門和維修梯安全設計
標準的SEMI軟件接口,可以方便對接MCS系統(tǒng),可實時上報系統(tǒng)各種狀態(tài)數(shù)據(jù),實現(xiàn)工廠智能管理;
可以根據(jù)客戶應用的特殊要求,定制設備功能及尺寸。
設備特點:
用于FOUP自動化搬送、存儲,實現(xiàn)晶圓在曝光、刻蝕等核心工藝之間流轉。
優(yōu)化結構及氣流流場設計,可使?jié)崈舳冗_到ISO Class4等級要求;帶有豐富的安全設計和靈敏的碰撞保護功能,
有效保護FOUP、晶圓安全, 提高了產(chǎn)品的安全等級,減少不必要的損失;
全新的系統(tǒng)運動邏輯規(guī)劃,提高產(chǎn)品搬送效率;
? 高速載入載出及安全防護裝置
? 專用維修門和維修梯安全設計
標準的SEMI軟件接口,可以方便對接MCS系統(tǒng),可實時上報系統(tǒng)各種狀態(tài)數(shù)據(jù),實現(xiàn)工廠智能管理;
可以根據(jù)客戶應用的特殊要求,定制設備功能及尺寸。