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打造機械設備行業探索者?
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設備特點:占地面積小,節省占地空間
1級潔凈,主動自潔氣流設計。
將晶圓盒置于密封的迷你環境中
所有電氣系統均配有現場可編程應用軟件
四個可編程聯鎖信號
晶片盒電流傳感器
Pod傳感器
晶圓映射傳感器(現有,交叉槽)
符合SEMI E19.4, S2和S8標準,并通過CE認證
直接安裝到加工工具或手動裝載端口適配器(300毫米螺栓接口到SEMI E63)轉換open station到SMIF兼容。
可選的RFID閱讀器/寫入器
可選的紅外讀/寫
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