打造機(jī)械設(shè)備行業(yè)探索者?
產(chǎn)品展示
products
設(shè)備特點(diǎn):
占地面積小,節(jié)省占地空間
1級(jí)潔凈,主動(dòng)自潔氣流設(shè)計(jì)。
將晶圓盒置于密封的迷你環(huán)境中
所有電氣系統(tǒng)均配有現(xiàn)場(chǎng)可編程應(yīng)用軟件
四個(gè)可編程聯(lián)鎖信號(hào)
晶片盒電流傳感器
Pod傳感器
晶圓映射傳感器(現(xiàn)有,交叉槽)
符合SEMI E19.4, S2和S8標(biāo)準(zhǔn),并通過CE認(rèn)證
直接安裝到加工工具或手動(dòng)裝載端口適配器(300毫米螺栓接口到SEMI E63)轉(zhuǎn)換open station到SMIF兼容。
可選的RFID閱讀器/寫入器
可選的紅外讀/寫
設(shè)備特點(diǎn):
占地面積小,節(jié)省占地空間
1級(jí)潔凈,主動(dòng)自潔氣流設(shè)計(jì)。
將晶圓盒置于密封的迷你環(huán)境中
所有電氣系統(tǒng)均配有現(xiàn)場(chǎng)可編程應(yīng)用軟件
四個(gè)可編程聯(lián)鎖信號(hào)
晶片盒電流傳感器
Pod傳感器
晶圓映射傳感器(現(xiàn)有,交叉槽)
符合SEMI E19.4, S2和S8標(biāo)準(zhǔn),并通過CE認(rèn)證
直接安裝到加工工具或手動(dòng)裝載端口適配器(300毫米螺栓接口到SEMI E63)轉(zhuǎn)換open station到SMIF兼容。
可選的RFID閱讀器/寫入器
可選的紅外讀/寫