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打造機械設備行業探索者?
產品展示
products
設備特點:可實現最高300片/小時產率的高性能晶圓搬運系統,系統采用了高性能機械手臂和校準器
符合SEMI標準(E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
Aligner具有Buffer功能,能夠實現晶圓的更換動作,提高了設備的Throughput
配備ID Reader,能夠讀取晶圓的ID信息(晶圓正反面對應為選配)
上述標準規格之外,以下規格的產品也可以定制 1. 4 FOUP對向擺放(Throughput為400片/h) 2. 4 FOUP的inline類型(Throughput為600片/h)
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