打造機(jī)械設(shè)備行業(yè)探索者?
產(chǎn)品展示
products
設(shè)備特點(diǎn):
可實(shí)現(xiàn)最高300片/小時(shí)產(chǎn)率的高性能晶圓搬運(yùn)系統(tǒng),系統(tǒng)采用了高性能機(jī)械手臂和校準(zhǔn)器
符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)(E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
Aligner具有Buffer功能,能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓的更換動(dòng)作,提高了設(shè)備的Throughput
配備ID Reader,能夠讀取晶圓的ID信息(晶圓正反面對應(yīng)為選配)
上述標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格之外,以下規(guī)格的產(chǎn)品也可以定制 1. 4 FOUP對向擺放(Throughput為400片/h) 2. 4 FOUP的inline類型(Throughput為600片/h)
設(shè)備特點(diǎn):
可實(shí)現(xiàn)最高300片/小時(shí)產(chǎn)率的高性能晶圓搬運(yùn)系統(tǒng),系統(tǒng)采用了高性能機(jī)械手臂和校準(zhǔn)器
符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)(E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
Aligner具有Buffer功能,能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓的更換動(dòng)作,提高了設(shè)備的Throughput
配備ID Reader,能夠讀取晶圓的ID信息(晶圓正反面對應(yīng)為選配)
上述標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格之外,以下規(guī)格的產(chǎn)品也可以定制 1. 4 FOUP對向擺放(Throughput為400片/h) 2. 4 FOUP的inline類型(Throughput為600片/h)